Polarisation und Ellipsometrie: Türöffner für perfekte Schichtqualitäten
Die Forschungsgruppe Prozesstechnik am Institut für Fertigungstechnik und Photonische Technologien der TU Wien hat ein echtzeitfähiges System zur Inline-Überwachung der Qualität von Schichten entwickelt und setzt dabei auf Polarisationskameras von SVS-Vistek.