Hohe Auflösung bis zu 245MP Auflösung, hohe Geschwindigkeiten und über das Sichtbare hinaus. Unser leitungsstarkes Kameraportfolio ist perfekt für Inspektionsaufgaben in der Halbleiterindustrie einsetzbar.
Die Halbleiterfertigung stellt höchste Anforderungen an Bildverarbeitungssysteme: maximale Präzision, Empfindlichkeit und Zuverlässigkeit. Highend-Kameras sichern Ertrag, erkennen Defekte frühzeitig und ermöglichen Prozesskontrolle bis in den Nanometerbereich. Ob Wafer- oder Chip-Inspektion in einer einzigen Aufnahme, die Detektion mikroskopischer Defekte sowie die präzise Ausrichtung beim Bonden, jede Anwendung erfordert eine spezialisierte Kameralösung.
Entscheidend ist die perfekte Kombination aus Bildqualität und robuster Performance. Je nach Einsatzgebiet bedeutet das: SWIR-Technologie zur hochgenauen Fehlererkennung innerhalb des Materials sowie ultrahohe Auflösungen für große Bildfelder. Der Schlüssel zum Erfolg ist die richtige Kameratechnologie – abgestimmt auf Genauigkeit, Durchsatz und Langzeitstabilität.
Bei Highend-Kameras für die Halbleiterindustrie zählen vor allem Auflösung, Bildqualität und Schnittstellenperformance. Während Makroinspektionen ultra hohe Auflösungen erfordern, profitieren Mikroscanning und Chip-Inspektion von Global-Shutter-Sensoren mit hoher Geschwindigkeit und präziser Triggerung. Für Subsurface-Inspektionen und Bonding-Applikationen- sind SWIR-Kameras unverzichtbar, da sie Strukturen sichtbar machen, die Standard-Sensoren verborgen bleiben.
Ebenso wichtig ist die Balance aus Durchsatz und Zuverlässigkeit. Moderne Schnittstellen wie CoaXPress oder 10GigE und 25GigE ermöglichen stabile, latenzarme Datenübertragung. Funktionen wie Pixeldefektkorrektur, Non-Uniformity Correction (NUC) und optimierte Kühlung garantieren höchste Bildqualität. So werden Defekte nicht nur hochsensitiv erkannt, sondern hochgenaue Inspektionssysteme auch sicher in die Produktionsprozesse integriert.
Auf Basis der Bildaufnahme mit der AIT xposure:1M-Technologie kann beispielsweise Mikroschrift auf Banknoten selbst bei hohen Aufnahmegeschwindigkeiten noch präzise erkannt werden. Bildquelle: AIT Austrian Institute of Technology
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